台灣英福康(INFICON)公司提供專業的真空分析儀器、感測器技術及半導體生產製程及設備控制軟體系統,
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,也提供在冷凍空調業生產線上所需的氦氣及冷媒測漏儀,
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,及在緊急應變、工業安全及環保防護所需的單人可攜式氣相層析質譜儀。
英福康總經理鄭國聲表示,
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,該公司在半導體及光電工業生產製程領域的應用上,
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,主要提供的產品有電弧偵測器(Arcing Detector)、真空計、氦氣測漏儀、及殘留氣體分析儀(簡稱RGA):早期僅在於真空測漏、故障原因分析,
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,近年來由於電腦資訊系統的發達,
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,RGA已逐漸與各半導體製程設備相結合,
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,其角色也已轉變成屬於產線設備一環。一般而言,
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,為確保腔體(Chamber)的真空度及避免有洩漏,
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,除了可用氦氣測漏儀或以真空計去量測真空壓力上升的情況,另一方式即是使用RGA去偵測腔體是否有洩漏。
鄭國聲強調半導體及光電製程的演進十分快速且晶片的價值也不斷提高,如何有效運用新的感測及資料整合技術以增加製程良率及完善的生產機台監控及防護是半導體及光電產業長期持續努力的重點工作。,